一、半導(dǎo)體靜態(tài)參數(shù)測量系統(tǒng)概述:
半導(dǎo)體靜態(tài)參數(shù)測量系統(tǒng),集多種測量功能一體,可以精準測量不同封裝類型功率器件(如 MOSFET、BJT、IGBT,以及SiC、GaN第三代半導(dǎo)體等) 的靜態(tài)參數(shù),具有高電壓和大電流特性、μΩ級導(dǎo)通電阻精準測量、nA級漏電流測量能力等特點。支持高壓模式下功率器件結(jié)電容測試, 如輸入電容、輸出電容、反向傳輸電容等。
二、系統(tǒng)組成
半導(dǎo)體靜態(tài)參數(shù)測量系統(tǒng),主要包括測試主機、測 試線、測試夾具、電腦、上位機軟件,以及相關(guān)測試配件等構(gòu)成。整套系統(tǒng)采??鈦科?主開發(fā)的測試主機,內(nèi)置多種規(guī)格電壓、電流、 電容測量單元模塊。結(jié)合專?上位機測試軟件,可根據(jù)測試項?需要,設(shè)置不同的電壓、電流等參數(shù),以滿?不同測試需求。測試數(shù)據(jù)可保 存與導(dǎo)出,并可?成I‐V以及C‐V特性曲線。此外,測試主機可與探針臺 搭配使?,實現(xiàn)晶圓級芯?測試。
三、半導(dǎo)體靜態(tài)參數(shù)測量系統(tǒng)的主要應(yīng)用
1、功率半導(dǎo)體的來料檢驗
2、功率半導(dǎo)體的靜態(tài)參數(shù)驗證或標定
3、實驗室的器件評估
4、功率半導(dǎo)體的?產(chǎn)檢驗和篩選
5、半導(dǎo)體器件的?藝改進評估
6、半導(dǎo)體器件的失效分析
7、半導(dǎo)體器件的教育科研
四、硬件優(yōu)勢
功率器件靜態(tài)參數(shù)測試系統(tǒng),配置有多種測量單元模塊, 模塊化的設(shè)計測試?法靈活,能夠極??便?戶添加或升級測量模塊, 適應(yīng)測量功率器件不斷變化的需求。
1、高電壓達8000V (擴展至10kV)
2、大電流達6000A (多模塊并聯(lián))
3、nA級漏電流uΩ級導(dǎo)通電阻
4、高精度測量0.1%
5、模塊化配置可添加或升級測量單元
6、測試效率高、自動切換、一鍵測試
7、兼容多種封裝根據(jù)測試需求定制夾具
五、測試夾具
針對市面上不同封裝類型的硅基功率半導(dǎo)體,IGBT、SiC、MOS、 GaN等產(chǎn)品,力鈦科提供整套測試夾具解決方案,可用于T0單管,半橋模組等產(chǎn)品的測試,后期可根據(jù)客戶需求來定制化相對應(yīng)封裝。
六、軟件特點:
1、測試主機內(nèi)部采用的電壓、電流測量單元,均采用多量程設(shè)計,測試精度為0.1%
2、柵極‐發(fā)射極,支持30V/10A脈沖電流輸出與測試,可測試低至pA級漏電流
3、集電極‐發(fā)射極,支持6000A高速脈沖電流,典型上升時間為15μs, 且具備電壓高速同步采樣功能
4、支持8000V電壓輸出,且自帶漏電流測量功能
5、電容特性測試包括輸入電容、輸出電容、以及反向傳輸電容測試,頻率支持1MHz
七、軟件界面
八、測試器件類型及項目
九、測試原理